临界尺寸扫描电子显微镜 （CD SEM）

HITACHI S-9260A

临界尺寸扫描电子显微镜（CD-SEM），8"晶圆形状：SEMI或JEIDA打开盒式磁带装载机单元电子枪：肖特基发射源加速电压：300 - 1600 V物镜：加热式活动孔径：4孔可变扫描线圈：2级电磁偏转图像分辨率：30 A 时为 3 nm，0.8 Kv散光校正：8极电磁线圈放大倍率范围：500X - 300,000X测量范围：0.1 - 2.0 um产量：每小时 65 片晶圆光学显微镜：1.2 x 1.2 mm 黑白视图晶圆载物台XY 范围：0“- 8"驱动电机：脉冲电机工作站：HP B2600操作系统： HP-UX 10.20软件版本 18.35主持人：18.35SEM：18.35IPS的：18.35（4500）IPS_V： 18.35贵宾：07.21.X1阶段： 02.05疏散： 02.05高功率：04.02WT：塔兹莫，IC1：05.13L;港铁-DA1-E：05.08CD重复性模式：0.24,3Sigma：0.761模式：0.48,3Sigma：0.93模式：0.72,3Sigma：0.77模式：0.96,3Sigma：0.85一个图案晶圆的CD测量，3Sigma：1.22电源显示冷水机：W5010T（2） Edwards 干泵：负载锁和试样室