临界尺寸扫描电子显微镜

Hitachi S-9300 是一款 CD SEM（临界尺寸扫描电子显微镜）

用于测量半导体工艺中的精细图案尺寸.

以下是主要规格：

• 制造商： Hitachi

• 型号： S-9300

• 晶圆尺寸：200mm

• 电子光学系统：

• 电子枪：肖特基发射源

• 加速电压：500V至1600V，10V步进

• 探头电流：4~24pA，通过法拉第杯自动设置和测量

• 电磁透镜：带升压电压的 3 级电磁透镜系统

• 物镜：4 个开口咔嗒停止，加热孔径可在真空外选择/调节

• 扫描线圈：2级电磁偏转

• 散光校正：通过 8 极电磁线圈

• 放大倍率：1000 倍至 >300000 倍

• 现场控制方法：在所有电压下连续开启样品放电

• 晶圆成像能力：8英寸（或12英寸）晶圆的整个表面

• 景深：80000倍放大倍率下>= 1.0um

• 分辨率：3nm （800V） 缓速/升压模式

• 光学显微镜系统：

• 图像：单色，使用CCD相机

• 放大倍率：110倍

• 晶圆成像：X 覆盖范围为 5 – 295mm，Y 覆盖范围为 5 – 195mm，缺口向下

• 视场角：1.2mm

• 工作站型号： HP B180L （9GB）

• 操作系统：Unix 版本 HP-UX 10.20 或更高版本

• 软件版本：14.71 或更高版本

它还配备了激光干涉仪平台，可实现超高目标寻址精度、迷你环境和兼容 FOUP 的负载端口.可以支持高级自动化场景，例如通过自动物料搬运系统（AMHS）进行FOUP交付和单个晶圆识别.