详细介绍
KLA-Tencor SFS6420 颗粒检测仪
名称:KSLA-Tencor SFS6420
制造商:KLA-Tencor
尺寸:8英寸
粒子检测与计数
用于检测粗糙表面如多晶硅和钨的亚微米粒子
提供比0.10 μm更优敏感性的精细度
表面分析工具
设计用于满足广泛应用的需求
利用最新光学技术,易于在粗糙表面上检测亚微米粒子的能力
高速自动化测试
能实时分析现场条件,适用于在线和离线应用
每小时可运行500个晶圆的自动化测试能力
多传感器技术
提供创新的特性,如多传感器技术
实时信息提供
通过统计分析和趋势分析为用户提供与产品质量相关的实时信息
晶圆检测系统
用于监控裸硅晶圆及其表面粒子和缺陷
PCB ASSY BELOW WFR DET FOR SFS6420
与KLA-Tencor的其他设备兼容,用于PCB组装板下的WFR检测
产品咨询