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颗粒检测仪

简要描述:KLA-Tencor SFS6420 颗粒检测仪是一种用于晶圆检测和计量的系统,广泛应用于半导体制造领域。该设备由KLA-Tencor公司生产,具有多种功能和特点。
功能与应用:
表面分析:SFS6420是一种多功能的表面分析工具,能够检测、计数和测量亚微米级颗粒,适用于多晶硅和钨等粗糙表面。
缺陷检测:该系统可以进行高分辨率的缺陷检测,包括掩模对准和覆盖精度的检测。

  • 产品型号:SFS6420
  • 厂商性质:经销商
  • 更新日期:2024-09-23
  • 访  问  量:256

详细介绍

KLA-Tencor SFS6420 颗粒检测仪


产品概述

名称:KSLA-Tencor SFS6420

制造商:KLA-Tencor

尺寸:8英寸

主要功能

粒子检测与计数

用于检测粗糙表面如多晶硅和钨的亚微米粒子

提供比0.10 μm更优敏感性的精细度

表面分析工具

设计用于满足广泛应用的需求

利用最新光学技术,易于在粗糙表面上检测亚微米粒子的能力

高速自动化测试

能实时分析现场条件,适用于在线和离线应用

每小时可运行500个晶圆的自动化测试能力

技术特点

多传感器技术

提供创新的特性,如多传感器技术

实时信息提供

通过统计分析和趋势分析为用户提供与产品质量相关的实时信息

应用领域

晶圆检测系统

用于监控裸硅晶圆及其表面粒子和缺陷

PCB ASSY BELOW WFR DET FOR SFS6420

与KLA-Tencor的其他设备兼容,用于PCB组装板下的WFR检测



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